光学微电子无尘车间装修解决方案
光学微电子洁净车间有称光学微电子无尘室或光学微电子洁净室,是半导体、精密电子元件、液晶制造、光学仪器制造、线路板制造和手机、计算机等行业不可或缺的重要设施。在净化车间装修设计中,应加强对光学微电子行业净化车间设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化车间设计方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
一、光学微电子无尘车间装修工程特点
洁净度:
一般光学微电子生产工序简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
光学微电子无尘车间指末端工艺的一些无尘车间,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级。
室内空气参数要求 :
(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜
空气量≥40m³/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m³/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m³/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。
二、光学微电子净化车间装修工程一般包括:
1、 洁净生产区
2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室
3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)
三、光学微电子净化工程净化原理:
气流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→高效空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 →
回风百叶窗→初效空气过滤器净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
四、光学微电子净化工程净化参数:
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度
冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。
温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
五、光学微电子净化车间装修的三种净化设计方案对比:
方案一:组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
这是一个最传统的净化车间设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
优点:
①.空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;
②.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;
③.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;
④.维修频率较低;
⑤.车间的噪音低。
缺点:
①.此净化车间设计方案需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房,如25000m³/h的组合式空气处理机组,常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30平方的空调机房的。
②.造价高。
特点:
①.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;
②.这类净化车间设计方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化车间厂房。
方案二:水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种方案比较,这是相对比较简单的净化车间设计方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
优点:
①.空气处理效果较好的,处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制。
②.布置灵活。自带冷源。
③.大小厂房、新旧厂房都适用。
④.维修频率较低。
⑤.车间噪音低。
缺点:
①.此净化车间设计方案需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置。
②.空调机组与空调处理机组要集中布置。
特点:
这种方案可以是一次回风也可以是二次回风,具体根据净化车间的大小情况而定;这类净化车间设计方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化车间厂房。
方案三:分体空调柜机++FFU送风口
这是最简易的一个净化车间设计方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的净化车间。
优点:
①.不需要占用机房面积,布置很灵活的;
②.可以满足空气的洁净度;
③.造价最低。如此类无尘车间初投资约需要40万;
④.送风均匀度好。
缺点:
①.温湿度控制较差;
②.FFU的维修频率高。
综合可见:对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,具体的方案选择根据具体情况而定。净化车间的设计应全面考虑,最终制定一个双方都满意的方案。